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就這樣，一直忙到81年3月23日，第一套完整的半導體制造裝置終於裝配完成。

裝置的安裝、除錯工作也是一個需要非常小心的活。

高精密的裝置，對工作環境的要求也是同樣苛刻無比。這個時候，就顯出了何師傅等人的本事，他們僅靠著肉眼觀察、光影判斷，就能精確判斷出裝置的傾斜角度是否符合要求，其精確率，絲毫不亞於上海廠幾位拿著測試裝置隨時觀測的工程師，且做出判斷的速度，比他們擺放裝置，從各個角度反覆測量還來得快！

安裝除錯工作又用了將近一個月時間，4月17日，裝置正式啟用，進入試執行。

這是一個足以載入中美電子研究所史冊的日子，當天，所有得知訊息的研究、行政、工人全都放下了手頭的活，聚到了處理器潔淨廠房外。雖然他們不能進去，什麼也看不到、聽不到，但所有人都不肯離去，都默默地等在門口。

幾位曾在無線電一所等好幾家重點科研單位，從事了數十年半導體制造裝置操作，多次榮獲先進工作者、勞動模範稱號的老技術人員，紛紛各就就位。

嚴格的裝置執行前檢查工作，在郭逸銘全體研發人員的矚目下，一絲不苟地進行著。

他們在前期裝置研製改造過程中，就全程參與其中，一些具體操作要領還是源於他們的建議，各種操作流程已經是銘記於胸。在這次開機測試前，他們向郭逸銘拍著胸口保證，哪怕是閉著眼睛，他們也會按照規範要求，圓滿地完成裝置操作，絕不會出任何紕漏。

郭逸銘相信他們能夠說到做到。

尺寸1：1掩膜版早已製造完成，一共準備了12塊掩膜版，這一點在工藝上並無特大改進。在操作員控制下，自動上膠機飛速轉動，緩緩接近單晶矽襯底，飛快地旋轉而過，一層光刻膠就勻稱的塗抹到了單晶矽襯底上。

操作員對其厚度、均勻程度檢測以後，向郭逸銘他們挑起了大拇指。

一陣輕微的歡笑聲，在人群中響起，隨即便迅速重歸寧靜，未到試執行結束，誰也不敢有絲毫放鬆。

塗抹了光刻膠的襯底，被送進烘焙爐中進行烘焙，使光刻膠乾硬成型，並完成內部形變，之後自動進行退火處理。

操作員用操作鉗夾出操作盤中，將硬化後的單晶矽襯底送到相鄰的另外一個淨潔室內。這裡，負責操作光刻機的技術人員已經完成了光刻機的預操作，掩膜版盒也已安裝到位，見到呈放單晶矽襯底的操作盤傳送過來，低頭再次檢查了一下光刻膠塗抹情況之後，用帶著防護手套的手，開啟光刻機艙門，小心翼翼將操作盤放置入內，仔細檢查之後，關上艙門。

他回到控制位，按工藝流程，快速地在控制儀表盤上進行各項操作：釋放掩膜版盒、鎖定、選擇掩膜版編號、控制所需編號掩膜版放下、輸入曝光率、焦深、能量輸出強度等各項資料，並透過顯示屏核對輸入是否正確。一切確認無誤，他按動啟動開關，機器聲輕微嗡鳴，光刻機開始自動工作。

光刻部分，這個流程是在光刻機內部完成，所有人都看不到具體過程，只能默默等待。

顯示屏上，代表光刻進度的進度條緩慢縮短，漸漸縮短成一個小方塊，再縮短為一條線，最後消失殆盡。

螢幕上跳出一個選項：重啟/關機。

操作員選擇關機，按照操作流程關閉氮氣閥門、壓縮空氣、真空，稍等一陣，開倉取出光刻完成的操作盤，放進入顯影裝置中，浸泡在顯影液中進行顯影處理。這套浸泡顯影、清洗等流程也採用了全自動操作，操作員也如同旁觀的郭逸銘他們一樣，只能緊盯著控制螢幕，而再也無須親自動手控制。

董老畢竟是七十多人的老人了，長時間站立下體力有些不支。旁邊的萬洪年紀同樣不輕