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第4部分(第4/5 頁)

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眼,便交到董美堂他們手中。三位老科學家一眼就看出,這是一個標準的單晶爐草圖,和他們在外國技術書刊中所見並無區別。現實中,國內單晶矽製備就是依照這種單晶爐製造。

他們將草圖又遞還給郭逸銘,靜靜等他做出說明。

“我們的第一項專利,就是單晶爐熱屏。這是一種給單晶爐熔鍊區配備一個固定熱屏障的部件,以實現……”郭逸銘在單晶爐熔鍊區上方,畫了一個配件,再轉遞給三位,但話沒說完,就被對方的驚呼給打斷。

“熱屏障!”

郭逸銘的話還沒說完,對面靜坐的三位老科學家已經震驚無比,一齊叫起來。他們飛快拿過草圖,只看了一眼,心中猶如驚濤駭浪。董美堂扭轉頭,從身旁的搭檔眼中,同樣看到了震撼、恍然、懊惱等諸多神情。

長期從事應用研究的他們,只是聽了一個名詞,看了一下簡圖,便立即明白到這項技術的價值。這無須實際驗證,只要用腦子想一想,僅憑邏輯都能明白,它蘊含著多麼巨大的價值!

熱屏障!

這是一個多麼簡單的設想!

是的,它絕對不是什麼高科技,蘊含的技術含量還不如單晶爐外殼,可它是一個極其絕妙的點子。僅僅加了一個熱屏障,就解決了他們費時費力,在單晶矽製備中也很難解決的大部分難題。

他們在欣喜之餘,也都極感懊惱。

這樣一個並非技術突破,而只是一個靈光一現的想法,他們怎麼會沒有想到呢,居然被美國一家公司給搶先發明瞭出來,並申請了專利!對他們而言,這可是嚴重失職!

郭逸銘停下說話,安靜地等待他們平靜下來。

早期的單晶爐都是敞口式設計,底部熔鍊區產生的熱氣瀰漫於單晶爐,熱氣蒸騰,矽晶棒處於持續加熱狀態,結晶困難,因而加大了製備難度。同時表層晶體反覆融化,也造成了矽晶棒成品率降低,外圈壞點增多。

歷史上,的確是美國率先發明瞭熱屏,在熔鍊區上方增加了一個屏罩,取得了立竿見影的效果。熱量被束縛在熔鍊區,減小了對提升的矽晶棒造成的影響,矽晶元的製取成功率立即得到了數量級提升。

而我國由於受到國際封鎖,得不到最新技術,也無法進口先進裝置。所從事的半導體材料製備研究,幾乎都是源自於對西方技術書籍的參考,照貓畫虎,對其進行復原。在這些書籍中,只有基本的原理草圖,對於此後的改進隻字不提,當然是進步緩慢。

事實上,直到九十年代,我們在進口日本的單晶爐的時候,日本人還是將沒有熱屏的單晶爐出口到中國,試圖以此來誤導國內半導體材料製備,繼續在錯誤的方向上前行。

郭逸銘作為一名材料系學生,又在材料應用研究所實際工作十多年,這樣的缺憾聽了不知多少。學校導師、實驗室前輩,都曾對他們諄諄教導,讓他們記住前人在這上面走過的彎路,吃過的虧,明白中國科學進步,付出了多少慘重的代價。

因此在事業起步的第一步,他便毫不猶豫選擇申請了這項專利。

技術簡單,成本低廉,但效果極其突出,根本和高科技毫不沾邊,就是一個想法而已。這完全就是為一無所有的他,量身定做的最佳突破口。

他等到三位老科學家苦澀地平靜下來,才繼續說道:“這種熱屏具有以下幾個優點:一,在增加了我們公司設計的熱屏以後,熱量受到束縛,矽晶棒的增長速度可以得到有效提升,據測算,一爐單晶棒正常情況下需要一週的生長時間,而在加了熱屏以後,在其他條件相同的狀況下,單晶棒的生長期可以縮短到三天!”

“三天!”

所有人都無法鎮定了,三位老科學家已經從椅子裡站了起來,他們知道這項技術好,但沒想到好到這

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